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FGL（RTP）系列滑軌式管式爐(T max 1100℃)
滑軌式管式爐一體化結(jié)構(gòu)設(shè)計,用于1100℃以下快速升溫快速降溫的特殊工藝要求弥奸，通過移動爐體實現(xiàn)快速冷卻的目的。同時也可以預(yù)先設(shè)定溫度奋早，然后移動到樣品處盛霎，達到快速升溫的效果。適合使用廣泛的RTP工藝及CVD石墨烯工藝耽装。
特點
- 工作溫度RT～1000℃
- 智能程序控溫儀控制精準(zhǔn),可編輯愤炸、儲存并調(diào)用多段程序
- 采用陶瓷纖維FEC加熱模塊，電阻絲內(nèi)嵌式環(huán)繞加熱
- 爐殼結(jié)構(gòu)掉奄，雙層爐殼風(fēng)冷結(jié)構(gòu)
- 不銹鋼雙層密封法蘭规个，進、出氣美標(biāo)針閥
- 兩端可調(diào)節(jié)式法蘭支撐結(jié)構(gòu)姓建，延長石英管的使用壽命
- 超溫保護功能诞仓，當(dāng)溫度超過允許設(shè)定值自動斷電
- 安全保護當(dāng)爐體漏電時自動斷電
額外選配
- 爐內(nèi)測量系統(tǒng)（氧含量檢測系統(tǒng)、溫度檢測系統(tǒng)）
- 真空系統(tǒng)（旋片式機械泵速兔、擴散泵機組墅拭、分子泵機組）
- 氣氛系統(tǒng)（浮子流量計、質(zhì)量流量計）
- 監(jiān)控系統(tǒng)（溫度記錄儀涣狗、觸摸屏遠程監(jiān)控）
- 注：選件需配置拓展柜體
技術(shù)參數(shù)
| 設(shè)備型號 | 最高溫度 | 管徑 | 加熱區(qū) | 溫區(qū)數(shù) | 熱電偶類型 | 電壓 | 功率 |
| FGL(RTP)-40/11/1 | 1100℃ | 40mm | 320 mm | 1個 | K型 | 220V |
3.0KW |
| FGL(RTP)-50/11/1 | 1100℃ | 50mm | 320 mm | 1個 | K型 | 220V | |
| FGL(RTP)-60/11/1 | 1100℃ | 60mm | 320 mm | 1個 | K型 | 220V | |
| FGL(RTP)-70/11/1 | 1100℃ | 70mm | 320 mm | 1個 | K型 | 220V | |
| FGL(RTP)-80/11/1 | 1100℃ | 80mm | 320 mm | 1個 | K型 | 220V |
注：給出的最高溫度為工作管外測定谍婉，其它溫區(qū)個數(shù)和加熱區(qū)長度可根據(jù)客戶工藝要求定制
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