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FGL（RTP）系列滑軌式管式爐(T max 1100℃)
滑軌式管式爐一體化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),用于1100℃以下快速升溫快速降溫的特殊工藝要求儒陨，通過移動(dòng)爐體實(shí)現(xiàn)快速冷卻的目的脂信。同時(shí)也可以預(yù)先設(shè)定溫度粱哼，然后移動(dòng)到樣品處咙边，達(dá)到快速升溫的效果精刷。適合使用廣泛的RTP工藝及CVD石墨烯工藝剪决。
特點(diǎn)
- 工作溫度RT～1000℃
- 智能程序控溫儀控制精準(zhǔn),可編輯灵汪、儲(chǔ)存并調(diào)用多段程序
- 采用陶瓷纖維FEC加熱模塊，電阻絲內(nèi)嵌式環(huán)繞加熱
- 爐殼結(jié)構(gòu)柑潦，雙層爐殼風(fēng)冷結(jié)構(gòu)
- 不銹鋼雙層密封法蘭享言，進(jìn)、出氣美標(biāo)針閥
- 兩端可調(diào)節(jié)式法蘭支撐結(jié)構(gòu)渗鬼，延長石英管的使用壽命
- 超溫保護(hù)功能览露，當(dāng)溫度超過允許設(shè)定值自動(dòng)斷電
- 安全保護(hù)當(dāng)爐體漏電時(shí)自動(dòng)斷電
額外選配
- 爐內(nèi)測(cè)量系統(tǒng)（氧含量檢測(cè)系統(tǒng)、溫度檢測(cè)系統(tǒng)）
- 真空系統(tǒng)（旋片式機(jī)械泵譬胎、擴(kuò)散泵機(jī)組差牛、分子泵機(jī)組）
- 氣氛系統(tǒng)（浮子流量計(jì)命锄、質(zhì)量流量計(jì)）
- 監(jiān)控系統(tǒng)（溫度記錄儀、觸摸屏遠(yuǎn)程監(jiān)控）
- 注：選件需配置拓展柜體
技術(shù)參數(shù)
| 設(shè)備型號(hào) | 最高溫度 | 管徑 | 加熱區(qū) | 溫區(qū)數(shù) | 熱電偶類型 | 電壓 | 功率 |
| FGL(RTP)-40/11/1 | 1100℃ | 40mm | 320 mm | 1個(gè) | K型 | 220V |
3.0KW |
| FGL(RTP)-50/11/1 | 1100℃ | 50mm | 320 mm | 1個(gè) | K型 | 220V | |
| FGL(RTP)-60/11/1 | 1100℃ | 60mm | 320 mm | 1個(gè) | K型 | 220V | |
| FGL(RTP)-70/11/1 | 1100℃ | 70mm | 320 mm | 1個(gè) | K型 | 220V | |
| FGL(RTP)-80/11/1 | 1100℃ | 80mm | 320 mm | 1個(gè) | K型 | 220V |
注：給出的最高溫度為工作管外測(cè)定多糠，其它溫區(qū)個(gè)數(shù)和加熱區(qū)長度可根據(jù)客戶工藝要求定制
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